Bonjour,
Tu pourrais faire la chose suivante:
1- Mettre en service ta nouvelle grappe en raidz1
2- basculer tout de la première grappe (raid5) sur le pool ZFS en raidz1
3- Après avoir valider le transfert, détruire et complémenter le raidz1 avec tes anciens disques raid5
Cela te permettrait d'avoir ton nas en ZFS, à condition d'avoir la mémoire suffisante, normalement la rêgle est de 1Go par To (soit 10Go), c'est une rêgle nominale mais qui peut ne pas être valable dans certains cas (transfert de gros fichiers de taille supérieure à ta RAM totale), l'idéal sera alors de "tuner" son ZFS pour éviter les reboot intempestifs.
Après, il faut distinguer ou tu situes la sécurité: elle peut (doit) se situer dans la protection d'une défaillance matérielle mais elle peut aussi se situer
à ton niveau (au niveau des données: mauvaise manipulation, effacement de répertoires complet un matin pas comme un autre, ...) Dans ce cas, il faut utiliser les snapshots automatiques de ZFS, ça marche tout seul et c'est vraiment génial, d'ou la nécessité de passer en ZFS
Je me permets de donner mon avis personnel: il FAUT une "sauvegarde complète déportée", pour des raison de vol ou d'incendie. Quand on dit déporté, c'est dans un local suffisamment loin pour qu'un incendie n'aie pas le temps de s'y propager.
Dans mon cas, je suis parano et j'ai 3 sauvegardes (2 exécutées plusieurs fois par jours et 1 le week-end), sur chaque sauvegardes, il y a un backup rsync (fichiers supprimés ou modifiés bien rangés par date), en gros, il faut se mettre dans la peau d'une personne malveillante ou de l'admin encore au lendemain d'une nuit agitée 
Ces 3 sauvegardes se trouvent sur des pc en linux/debian avec ssh et rsync, j'ai fais un script qui teste le bon déroulement des rsync et qui éteint le PC après le travail si celui-ci est ok.
Dans mon cas, je dois fournir les données quelques dizaine de minutes après une panne grave, donc avoir une machine avec du raidz1 c'est bien, mais si un régulateur de la carte mère grille est que la machine est "HS" que faire ? prendre les disques et les importer sur un autre PC, certes, mais la machine aura t'elle la mémoire suffisante ? c'est pourquoi je préfère faire une sauvegarde simple même si c'est qu'en ext3 ou 4.
Dans ton cas, je ferais donc la chose suivante:
- tu te trouves un vieux PC et tu y installes nas4free avec 2 ou 3 disques en raid0, tu le mets en UFS ou au pire en ext2 (y'a pas la journalisation mais peu importe)
- tu copies entièrement ton nas actuel sur ton nas de secours (rsync)
Ceci constitue la première opération uniquement coté nas de secours, revenons à ton nas cette fois:
- si tu as suffisamment de mémoire sur ta machine actuelle tu fais un pool en raiz1 et tu déplace ton raid5 sur le raidz1 (rsync), puis tu ajoutes les anciens disques raid5 dans le pool de stockage raidz1
- si tu n'as pas assez de mémoire tu ajoutes directement tes disques en raid5
de cette manière:
- tu auras une sauvegarde de ton nas lors de tes manip, donc tu seras serein.
- tu auras un nas de secours au cas oû (même si tu as un vol ou un incendie) .. pour le vol tout le monde n'a pas des dépendances équipées de meurtrières avec des douves autour, donc, un boitier lourd et moche avec des pièces manquantes avec écrit "HS" dessus peut donner une envie au voleur de "bouder" cette machine (remplir un boitier grande tour avec des disques inutilisés peut donner un poid qui ne donne plus du tout envie de le déplacer)
- un système de mise à jour avec rsync très performant et rapide avec éventuellement une notion de backup.
Là c'est déjà pas mal ... après, on peut imaginer que le nas soit déporté chez un tiers, mais dans ce cas il faudra crypter les données.